高精度柔性电子测试系统（xf-wsbx-2200618）采购公告
· 2022-11-22
| 项目名称 | 高精度柔性电子测试系统 | 项目编号 | XF-WSBX-2200618 |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | 2022-11-22 08:58:32 | 公告截止日期 | 2022-11-29 10:00:00 |
| 采购单位 | 浙江大学 | 付款方式 | 货到付款，甲方在到货验收后15日内向乙方一次性支付本项目的总额 |
| 联系人 | 联系电话 | ||
| 签约时间要求 | 成交后3天 | 到货时间要求 | 成交后60天 |
| 预算总价 | 860000.0 | ||
| 收货地址 | 浙江大学玉泉校区周亦卿科技大楼209 | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
采购清单
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 高精度柔性电子测试系统 | 1 | 台 | 电工器材 |
| 品牌 | None |
|---|---|
| 型号 | None |
| 技术参数及配置要求 | 1、参数分析仪主机参数指示1.1、Windows10操作系统, 软件图形化界面, 全集成化;标准半导体器件参数测试库；纳米器件参数测试库；WLR可靠性参数测试库；半导体CV参数分析库;1.2、任意一个SMU，CVU，PMU均只占一个插槽，一共9个插槽，方便扩展升级;1.3、功率要求：100V-240V,50-60Hz;1.4、配备至少两个直流测试模块，一个电容电压测试模块;1.5、温度范围：工作时： 10℃- 40℃；贮存时：-15℃- 60℃;1.6、湿度范围：工作时：5%-80%相对湿度,无冷凝；贮存时：5%-90%相对湿度,无冷凝;1.7、主机显示器：15.6 英寸 LCD, 容性触摸屏; 1920 × 1080 全高清; 10 点触控;1.8、I/O 端口：USB, SVGA, 打印机 , RS-232, GPIB, 以太网 , 鼠标 , 键盘。2、功率源测量单元：★2.1、直流测试最大输出电压：≥210V;★2.2、电压测量分辨率：0.2μV;2.3、电流测量范围：≥100mA;★2.4、电流测试最小分辨率：100fA，加前置放大器可达0.01fA;2.5、可以现场安装;2.6、支持线性、对数、列表和分段测量扫描;2.7、输出接口：三个迷你三同轴 ( 母头 ) 接口，用于 Force、Sense 和 Sense Lo 一个定制 15 针 D-Sub ( 母头 ) 接口，用于连接高机;2.8、最大负载电容：10 nF。3、电容电压单元参数指标：3.1、可进行AC阻抗测量，可进行C-V, C-f, C-t测量;★3.2、不同频率下的C-V测试，频率测试范围：1KHz-10MHz;★3.3、直流偏置电压范围：≥±30V，差分模式：≥±60V;★3.4、使用SMU扩展直流偏置电压至±210V;3.5、测量功能：CP-G, CP-D, CS-RS, CS-D, R-jX, Z-theta;3.6、量程：自动和固定;3.7、测试速度：Fast, Normal, Quiet, 和自定义;3.8、提供的扫描参数：DC 偏置电压 , 频率 , AC 电压;3.9、扫描类型：线性 , 自定义;探针台参数指标：1、主机参数指标1.1、工作温度和湿度：-10- 60°C，5%-80%相对湿度;1.2、电力要求：电压要求 100 V ~ 240 V, 50 ~ 60 Hz，其他不涉及;1.3、场地要求：用房面积5平方米;★1.4、适用圆片尺寸：8英寸兼容6英寸，卡盘中心孔直径不大于1mm，兼容直径6真空卡盘，配套无油静音真空泵，至少可达7升/分钟，真空度:-33.3kPa（ -250mmHg）;★1.5、卡盘采用同轴位移台， 快速移动不小于25mm /转，方便快速找到目标物，XY方向行程不小于200×200mm，每轴都有一个锁定旋钮，工作台XY方向微调分辨率不大于1μm;1.6、卡盘采用同轴位移台， 快速移动不小于25mm /转，方便快速找到目标物，XY方向行程不小于200×200mm，每轴都有一个锁定旋钮，工作台XY方向微调分辨率不大于1μm;1.7、承片台平面度不大于10μm；漏电流＜1PA＠100V， 角度至少可15？无间隙旋转，调节精度0.001°;1.8、Z方向：总行程不小于10mm，快速移动至少4mm，微调至少6mm，微调分辨率不大于1μm，使用至少80TPI高硬度不锈钢螺杆。2、探针参数指示★2.1、六个探针臂接口，适用于4路直流信号 2路射频;★2.2、探针座精度至少0.3um;★2.3、使用至少200TPI高硬度不锈钢螺杆;★2.4、直流探针耐电压1000V，耐电流1A;★2.5、测试频率不低于150 MHz，漏电流不高于10fA，射频探针插损＜0.5db，回波损耗＞20db，频率最低可达40 GHz;★2.6、配套校准片及射频线缆，射频探针倾斜至少可达0.1度分辨率;2.7、具备抬针针架功能，探针与圆片间快速上下分离/接触，相对针架台板至少支持6个探针臂同时上下移动，分离距离不小于10mm；后续可另行加装探针卡和针卡夹具。3、显微镜及摄像系统：★3.1、目镜：10x×2;★3.2、变焦 1X/2X;★3.3、超长距离物镜： 2x(工作距离至少可达 34.0mm，NA至少可达0.055)、10x(工作距离至少可达33.5mm，NA至少可达0.28)、20x(工作距离至少可达 20mm，NA至少可达0.42)、50x(工作距离至少可达20.5mm，NA至少可达0.42) 四只;★3.4、显微镜调焦机构：Z 轴移动行程 至少可以达到50.8 mm，同轴旋钮调节，细调精度优于1微米，显微镜X-Y载物台行程至少可达：2 -2，分辨率不大于1um;★3.5、CCD摄像头像素不小于200万;★3.6、摄像系统主机：不低于I5处理器，8G内存，1T硬盘保，图片保存格式为JPG。4、电源模块参数指标4.1、双通道电源;4.2、最大电压不小于200V;4.3、DC最大电流不小于1.5A;4.4、脉冲电流不小于10A;4.5、分辨率不大于100nV/100fA。5、示波器模块1参数指标5.1、带宽不低于200MHz;5.2、4个模拟通道;5.3、最高采样率不低于5GSa/s;5.4、每通道至少10M记录长度;5.5、波形捕获率大于280,000wfm/s;5.6、标配至少9K-1GHz频谱分析功能;5.7、至少4位数字电压表，至少5位频率计数器。6、示波器模块2参数指标6.1、带宽不低于200MHz;6.2、2个模拟通道;6.3、最高采样率不低于5GSa/s;6.4、每通道至少10M记录长度;6.5、波形捕获率大于280,000wfm/s;6.6、标配至少9K-1GHz频谱分析功能;6.7、至少4位数字电压表，至少5位频率计数器。7、万用表模块参数指标7.1、分辨率位数优于6位半;7.2、本底噪声不大于100nV rms;7.3、 DCV可重复性至少7ppm;7.4、 DCV至少可达10nV~1000V，ACV至少可达0.1uv~1000V;7.5、 DCI、ACI至少可达1nA ~ 3A。8、信号发生器模块参数指标8.1、正弦波不小于20 MHz;8.2、方波和脉冲波形不小于10 MHz;8.3、采样率不小于250 MS/s;8.4、垂直分辨率不小于14 位;8.5、可定义复杂波形。 |
| 售后服务 | None |
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